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真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，高压柜氦测漏设备，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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氢气的应用场合
氢气，化学式为H?，分子量为2.01588，常温常压下，是一种极烧的气体。
氢气是世界上已知的密度小的气体，氢气的密度只有空气的1/14，即在1标准大气压和0℃，氢气的密度为0.089g/L。工业上一般从或水煤气制氢气，而不采用高耗能的电解水的方法。
氢气一般出现在1.做还原气：金属加工。2.做保护气：金属加工。3.做燃料气：电子行业、玻璃行业。4.做冷却介质：电厂。5.做为化工介质：油脂加氢。6.做燃料用：液氢、航天、航海等。7.焊接行业。8.医院。
氢气检漏法的工艺和方法
批量生产的用户采用上述控制器进行示踪气体的充注，达到收到压力后控制器会给出提示，这时操作人员即可进行检漏操作，然后通过控制器把气体排出。注意不可以直接将气体排在检漏位置，氦测漏设备，因为这样会造成本底污染，使得后面的检漏无法进行。
工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择)，在现场需要查找系统漏点时，先排空制冷剂，然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体，用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。由于氢气比空气轻，所以泄漏出来的氢气都会沿着管道等部件往上跑，并且可以穿透保温材料，使用者可以在部件较高位置进行检漏，比采用其他方式查找漏点要容易得多，成功率也高很多。
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